Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Ulrich Hilleringmann (auth.)Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
კატეგორია:
წელი:
2006
გამოცემა:
1
გამომცემლობა:
Vieweg+Teubner Verlag
ენა:
german
გვერდები:
274
ISBN 10:
3835190229
ISBN 13:
9783835190221
ფაილი:
PDF, 9.72 MB
IPFS:
,
german, 2006
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